Die Erfassung von Bewegungszuständen erfolgt heutzutage über eine Kombination verschiedenster Sensoren, in der Regel Beschleunigungs- und Drehratensensoren und zusätzlichen GPS-Messungen. Tendenziell werden die konventionellen Sensoren durch miniaturisierte, kostengünstige Sensoren ersetzt, sogenannte Mikro Elektro Mechanische Systeme (MEMS).
MEMS findet man u. a. in Airbag- und Reifendrucksystemen, in Digitalkameras, Handys, Druckköpfen von Tintenstrahldruckern, Herzschrittmachern und Biochips zur DNA-Analyse. Es sind Systeme, die Sensoren, Aktoren und Elektronik vereinen und die mittels der aus der Mikroelektronik übernommenen Werkstoffe und Fertigungsverfahren in Mikrogröße – von 1 mm bis 1 µm – erstellt werden.
Schwerpunkte dieses Beitrags sind die Begriffsdefinition MEMS, die Anwendungsfelder von MEMS, der Aspekt der Miniaturisierung, die Erläuterung der physikalischen Prinzipien der in der Geodäsie zunehmend eingesetzten Beschleunigungs- und Drehratensensoren und die Anwendung der Erfassung von Bewegungszuständen mittels Beschleunigungssensoren.